氮化硅绝缘环

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产品介绍

材料特点:
氮化硅陶瓷是以高纯氮化硅粉为原料经气压烧结而成的结构陶瓷,具有密度低、硬度高、强度高、抗热震性能优异的特点,同时兼具耐磨、自润滑、耐腐蚀、高温绝缘和无磁等特性,在急冷急热、高速、强腐蚀等苛刻工况下性能稳定,是极端工况下理想的关键陶瓷材料。

产品信息:
氮化硅绝缘环系采用等静压成型或注射成型制备高均质坯体,经高温气压烧结致密化后,再通过精密研磨加工制成的高精度环状绝缘件。该绝缘环充分发挥氮化硅材料高绝缘、高强度、耐高温的综合优势,在高电压、高低温交变及强腐蚀环境中实现可靠的电气隔离与机械支撑,表现出不击穿、不吸潮、不碎裂、长期工作尺寸稳定的突出特点。

性能参数:
体积密度≥3.2 g/cm³,维氏硬度≥1500 HV,常温抗弯强度≥700 MPa,断裂韧性≥6 MPa·m¹/²,体积电阻率≥1×10¹⁴ Ω·cm,介电强度≥15 kV/mm,最高使用温度可达1200℃。

产品尺寸:
氮化硅绝缘环无固定规格,严格依据客户图纸或样品定制。产品可提供常规圆环、台阶环、异形环、带槽环及多层组合绝缘环等多种结构形式。可进行内外圆精密磨削、平面研磨、钻孔、开槽及装配配合面精加工等工艺。优康工陶也可根据应用工况协助优化绝缘环结构设计与材质选型。

产品应用:
氮化硅绝缘环广泛应用于半导体刻蚀与沉积设备的腔体绝缘件、等离子体发生器电极绝缘环、高压开关柜绝缘支撑件、真空设备高压引入绝缘件、电推进系统绝缘组件、高温电炉加热元件绝缘支撑、电化学加工设备绝缘隔离环以及航空航天高温高压连接器的绝缘陶瓷件。是精密装备在高电压、高温及腐蚀气氛中实现高可靠电气隔离与结构支撑的重要陶瓷绝缘元件。


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